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浙江省发展和改革委员会:
浙江森田新材料有限公司微电子蚀刻材料项目,于2017年11月05日,向武义县发展和改革局申请办理了浙江省外商投资项目备案,项目代码:2017-330723-26-03-069580-000;外商投资企业统一社会信用代码号为“91330700755939585L”,成立日期为2003年11月28日。项目具体内容如下:
项目建设内容和规模:本项目采用最先进的日本森田化学工业株式会社提纯技术,生产制作半导体所需的超高纯清洗与蚀刻用电子化学品。本产品用于芯片材料晶圆的蚀刻及清洗、液晶表面的轻微蚀刻及减薄,是生产清洗环节必不可少的电子化学品。项目建成后形成5万吨/年蚀刻及清洗级氢氟酸、5.2万吨/年BOE(氟化铵)、1.5万吨/年高纯氨水、3万吨/年高纯双氧水、3万吨/年蚀刻混合液原液及4000吨/年氟电子气体的生产能力。